pg电子发生器的安全和预防措施:

    一、操作设备时有必要要知道的安全防备

    不能让橡胶类（橡胶和丁腈橡胶）的密封圈直触摸摸pg电子，不能运用镀银的VCR垫片

    不能运用其他气体替代设备指定规格的气体

    绝不允许任何外来物质进入pg电子发生器，避免pg电子催化剂进入pg电子气管

    二、设备中的潜在风险以及防备办法——pg电子

    Ozone首要存在于气体管道  、pg电子发作管 以及设备衔接处

    Ozone的安全和防备办法：

    1. 确保pg电子气柜的排风作业正常

    2. 衔接一切的进口和出口的气体管道，而且运用SS不镀银的VCR垫片

    3. 不要翻开外部气体管路或许设备衔接管路，除非SEMOZONE已通入氮气清洁管道

    4. 在pg电子发生器运转前一定要检查紧固一切的pg电子管路

    5. 调查假如OZONE检测设备pg电子浓度超越TLV设定值，会不会停止pg电子发生器

    pg电子走漏的处理办法：

    1.经过激活外部报警信号或许经过急停停止pg电子发生器

    2.疏散一切风险区域的人员

    3.在没有自呼吸式防护装备的情况下不要进入风险区域

    4.在进入风险区域前，要使pg电子天然分化或许散失

    三、设备中的潜在风险以及防备办法——氧气

    Oxygen首要存在于气体管道  、pg电子发作管 以及设备衔接处

    Oxygen的安全和防备办法：

    1. 衔接一切的进口和出口的气体管道，而且运用SS不镀银的VCR垫片

    2.假如存在明火，不要翻开外部气体管路或许设备衔接管路，直到SEMOZONE已清洗管道

    氧气走漏的处理办法：经过外部阀门关闭氧气进气

    四、设备中的潜在风险以及防备办法——电击 Line voltage

    Line voltage在pg电子发生器的后边接线终端，以及一切的电路衔接组成部分（包含pg电子发生器内的电压电路衔接）

    Line voltage 电路电压的安全和防备办法：

    1.假如pg电子发生器已上电，不要翻开设备盖板触摸电路部件

    2.制止在pg电子发生器运转中移走绝缘盖板

    3.确保在修理时要确定且悬挂修理挂牌

    虽然总电源和主开关现已断电在OFF位置，一些电路部分仍然有电

    1.ECOPS（G1）终端区域存在电

    2.主开关S1输入终端有电

    五、设备中的潜在风险以及防备办法——电击 Stored charges

    Stored charges是ECOPS（G1）的电源

    High AC voltage 电路电压的安全和防备办法：

    1.在SEMOZONE断电之后制止立即对ECOPS进行修理

    2.SEMOZONE断电之后，在翻开ECOPS进行修理和替换之前还要至少等候10分钟以上

    六、设备中的潜在风险以及防备办法——物理压力 pressure

    压力风险首要存在于气体和水管道、pg电子发作反应管以及设备衔接之间

    Pressure 的安全和防备办法：

    在翻开气体管道、水管道以及设备衔接管道时，要对SEMOZONE内进行泄压

    Gas line

    1.冲刷管路至少10分钟，直到一切的pg电子排掉

    2.经过外部阀门或许压力调节阀关闭氧气进气，如有氮气进气也要关闭

    3.开释气体压力，经过工艺管路（翻开工艺管路阀门）

    4.等候直到压力挨近周围的环境压力

    Water line

    1.关闭冷却水进水和出水阀门

    2.渐渐翻开设备衔接处，使冷却水排放到预留的外部存水盘中

    3.等候直到没有剩余的水从设备衔接处流出来停止